殷汝耕系浙江平阳县人。早年留学日本，曾任国民政府驻日特派员、航政司司长、总司令部参议等职。1935年他曾策划冀东自治，但未成功，便私自成立冀东防共自治政府，自任政务长官，改悬五色旗。

1937年“七七”事变后，受通州事件的影响，殷汝耕失去了日方的信赖，1938年2月1日冀东防共自治政府被并入王克敏的中华民国临时政府 (北京)。后应汪精卫的邀请，出任中日合办山西煤矿公司董事长，不久又充任伪政府经济委员会委员。1941年1月，任治理运河筹备处主任。同年5月，特任治理运河工程局局长，6月辞职。

抗战胜利后，殷汝耕被监禁在南京老虎桥。1946年7月，南京高等法院开庭审理殷汝耕一案。7月31日，判处殷汝耕死刑，褫夺公权终身，全部财产没收。1947年12月1日，对殷汝耕执行枪决。